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倾角/倾斜传感
来源:赛斯维传感器网 发表于 2021/5/21

介绍

低量程的colibrys加速度传感器是测量倾角的理想产品,它使用地球的地平面作为参考。倾角和倾角测量有广泛多样的市场需求,如能源,军用/航空航天,以及工业与仪器仪表。典型的应用例子是:

● 指示车辆、帆船或飞机的倾斜和翻转状态

● 监控悬臂角度

● 测量距离和高度

● 钻井过程中,测量钻孔角度

● 平台和天线稳定性

● 罗盘校正

● 高速摆式列车的控制

● 武器安全系统


图一:colibrys产品剖视图


colibrys mems 加速度传感器

colibrys的倾角和倾斜传感器是一种mems电容式加速度传感器,它由一块微机械加工的体硅元件,一个低功耗 asic 专用信号处理器,一个用于存储补偿值的微控制器,和一个温度传感器组成。


倾角测量是准静态测量,通常要求具有低带宽的±1g或±2g加速度传感器。ms9001和ms9002产品是整个colibrys 产品系列中最好的倾斜传感器。它是通过一个低电流消耗(<0.5毫安在5v)的电源电压(2.5v与5.5v之间)来运行的。当电源电压是5v时,满量程加速度的输出是一个在0.5v – 4.5v之间变化的比例模拟电压 。


这款传感器采用了完全独立的封装。为确保其全密封性,其器件封装在一个48只引脚的lcc陶瓷外壳内(ms8000.d),或是在一个20只引脚的lcc陶瓷外壳内(ms9000.d)。它们的工作温度范围是-55°c至125°c。并能承受高达6000g的冲击而不会导致芯片性能的下降。


colibrys倾斜感应加速传感器产品有

– ms8002.d 传统的倾斜感应产品

– ms9001.d 专为倾斜应用设计的最新产品

– ms9002.d 8.9毫米x8.9毫米小封装尺寸


操作原理

这款加速度传感器是利用地球重力(1g)对于振动块的作用,把它作为输入加速度来确定倾角(图2)。

图2: 测量原理

惯性质量块在硅片的中心,它通过弹簧支撑着检测质量块。加速度传感器输出信号“vout”是一个比率式模拟电压,并遵循以下公式:


vout = bias (scale factor x acceleration)


在这里:

– bias [v] 为在加速度为0g时的输出电压

– scale factor [v/g] 为传感器的灵敏度

– acceleration [g] 为加在敏感轴上的地球加速度。


角度 φ 通过下面公式计算:

angle φ = arcsin ((vout – bias) / (1g x scale_factor))

在这里φ 是角度。


可作为倾角传感器的变电容加速度传感器

通过重力加速度旋转可使加速度传感器产生正弦输出信号。图3显示了在各种地球加速度情况下,以加速度传感器ms9002.d为例子的示意图。

图3: 在不同角度情况下的ms9002.d加速度传感器

 

使用ms9002.d测量倾角的例子

在本例中,加速度传感器围绕x轴或y轴旋转360°。表一显示了相应的角度[°], 通过敏感轴得到的加速度[g], 输出信号 [v], 和分辨率 [mg/°] 。从分辨率对角度的关系中,我们可以清楚地看到,尽管加速度传感器可以在360°以上的范围内提供信号,它的最佳的工作区域是在 0°和180°附近±30°的线性和对称区间。


倾斜 / 倾角传感器的选择

为了选择一个倾角感应应用的最佳加速度传感器,我们必须考虑各种特性。为了最精确地测量倾角,加速度计的短期和长期稳定性,迟滞性能,可重复性和低噪声输出等都是关键的参数。在短期和长期稳定性方面,colibrys的ms8002和ms9002加速度传感器是市面上最好的产品之一(1)。对于±2g满量程测量,测量误差小于2mg。这代表了小于0.1°的年稳定性。这些产品也能提供优异的零偏温度系数而无需补偿,(平均为100μg/度或0.007°/度,在±30度之内),低迟滞性能和高重复性。总之,噪声和带宽的组合决定了倾斜传感器的分辨率或最小可测量的角度。colibrys产品表现为低噪声水平(对于一个±2g传感器, 典型值为20mg/√hz),因此,使得可测量角度的分辨率能达到0.001°(均方根(rms)噪声为1hz带宽)。


(1) 根据ieee 528-2001,一年期稳定性的定义是:打开/打开,放置在-55°c和85°c,-40°c至125°c 的温度循环中,-55°c至85°c经受无动力的扰动,震动和冲击


结论

近几年来,colibrys 加速度传感器是一个成功的倾角传感器,并且被完美地集成到各种应用系统中,例如:罗盘校正,平台稳定,运输和钻井仪器。这些集成所取得的成功奠定了colibrys公司在高分辨率倾角和倾斜传感市场的领导地位。


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